2024展會預告|3月上海慕尼黑光博會,中圖儀器展品提前看!
2024-03-18 慕尼黑上海光博會(LASERPhotonicsChina)集中展示涵蓋激光器與光電子、光學與光學制造、激光生產與加工技術、成像、檢測和質量控制四大板塊,以國際化視角呈現光電行業的產品內容,專為滿足中國市場需求,是不容錯過的業內展會。作為專精特新企業,中圖儀器從納米到百米,高強度研發補齊國產精密測量短板,為產業發展賦予了更多實用價值。在展會上將帶來顯微形貌測量、一鍵式光學影像測量、接觸式輪廓尺寸測量、位置與運動精度測量四大主題的多種測量解決方案,展示國產化全自主研發三坐標測量機...半導體量測領域新增量測設備!中圖儀器無圖晶圓幾何量測系統正式發布
2024-02-29 在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點,往往需要對wafer進行厚度(THK)、翹曲度(Warp)、膜厚、關鍵尺寸(CD)、套刻(Overlay)精度等量測,以及缺陷檢測等;用于檢測每一步工藝后wafer加工參數是否達到設計標準,以及缺陷閾值下限,從而進行工藝控制與良率管理。半導體前道量檢測設備,要求精度高、效率高、重復性好,量檢測設備一般會涉及光電探測、精密機械、電子與計算機技術,因此在半導體設備中,技術難度高。在wafer基材加工階段,從第一代硅,第二代砷化鎵到第三代也是現階...